產(chǎn)品用途
MX-12半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡采用無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴(kuò)展性強(qiáng)(明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺(tái)等特點(diǎn)；同時(shí)配有長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺(tái)，最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 仰角可調(diào)觀察筒：0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對(duì)工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到最佳的觀察角度，減輕了長(zhǎng)時(shí)間工作帶來(lái)的不適于疲勞，大幅度提高工作效率。
? 全新離合驅(qū)動(dòng)式載物臺(tái)：MX12采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺(tái)，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動(dòng)，避免長(zhǎng)時(shí)間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。MX12引入精密導(dǎo)軌傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
? 防震支架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì): 工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡機(jī)身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱
? 安全高速電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器: 設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
產(chǎn)品規(guī)格
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規(guī)格參數(shù)
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MX-12
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光路系統(tǒng)
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無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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●
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觀察方式
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明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC觀察模式(選配)
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○
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，0-35°傾斜可調(diào)，瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調(diào)節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ25mm)，視度可調(diào)/可帶十字分劃板
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●
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無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距離明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡
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倍率
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數(shù)值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×DIC
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0.15
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13.50mm
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10×DIC
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0.3
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9.00mm
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20×DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數(shù)
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50×-500×
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●
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電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)輪(DIC)
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明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)。設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高
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●
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機(jī)架
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反射式機(jī)架：前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。物鏡和孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方
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●
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載物臺(tái)
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右手位14*12英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
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●
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平臺(tái)面積710mmX420mm，移動(dòng)范圍：356mmX305mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)的快速移動(dòng)；反射配金屬平臺(tái)
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玻璃載物臺(tái)板。（透/反射用）
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明暗場(chǎng)裝置
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帶明暗場(chǎng)觀察切換裝置與明暗場(chǎng)照明切換裝置
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡(jiǎn)易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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照明系統(tǒng)
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柯拉照明系統(tǒng)，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)
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●
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素?zé)?，明暗?chǎng)反射照明器
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12V/100W鹵素?zé)簦≒HILIPS 7724）
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數(shù)碼成像系統(tǒng)
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高質(zhì)量0.5X
CCD可調(diào)焦適配鏡
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●
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Puda 630萬(wàn)USB型進(jìn)口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(jī)(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準(zhǔn)的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準(zhǔn)再現(xiàn))
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Puda ImageView專(zhuān)業(yè)的圖像處理軟件
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可升級(jí)配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標(biāo)配、○為可升級(jí)配件
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部分樣品圖片
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